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產(chǎn)品明細(xì)：

LAM Research 853-801876-014 控制器是一款高性能控制器，專為半導(dǎo)體加工應(yīng)用而設(shè)計。
它能夠控制多達(dá)四個工藝室，并可與各種 LAM Research 工具一起使用，包括蝕刻、沉積和 CVD 系統(tǒng)。
該控制器具有直觀的圖形用戶界面 （GUI），允許用戶輕松監(jiān)控和控制其過程。
它還包括配方管理、數(shù)據(jù)記錄和工藝優(yōu)化等高級功能。
該控制器與 Windows 操作系統(tǒng)兼容，可以通過 USB 或以太網(wǎng)連接到 PC。

853-801876-014

英語明細(xì):

The LAM Research 853-801876-014 controller is a high-performance controller designed specifically for semiconductor processing applications.
It is capable of controlling up to four process chambers and can be used with a variety of LAM Research tools, including etching, deposition and CVD systems.
The controller has an intuitive graphical user interface (GUI) that allows users to easily monitor and control their processes.
It also includes advanced features such as recipe management, data logging and process optimization.
The controller is compatible with the Windows operating system and can be connected to a PC via USB or Ethernet.

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